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文献
J-GLOBAL ID：202202287899938061
整理番号：22A0430964
多層上の原子状水素洗浄炭素汚染の特性研究【JST・京大機械翻訳】
Study on the characteristics of atomic hydrogen cleaning carbon contamination on multilayers
Song Yuan
(State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China)
,
Lu Qipeng
(State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China)
,
Gong Xuepeng
(State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China)
,
Wang Dazhuang
(State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China)
,
Zhang Zhen
(State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China)
,
Yu Bo
(State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China)
,
Yao Shun
(State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China)
,
Mao Qijun
(State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China)
,
Mao Qijun
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100039, China)
,
Ma Tianyu
(State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China)
,
Ma Tianyu
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100039, China)
,
Bai Yang
(State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China)
,
Bai Yang
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100039, China)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 196 ページ： Null 発行年： 2022年
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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