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文献
J-GLOBAL ID：202202287918476782
整理番号：22A0847704
感度が増加した二層構造MEMS熱風センサの解析的モデル【JST・京大機械翻訳】
Analytic Model of Dual-Layer-Structure MEMS Thermal Wind Sensor With Increased Sensitivity
Cao Zongyuan
(Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China)
,
Wang Zhenjun
(Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China)
,
Yi Zhenxiang
(Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China)
,
Qin Ming
(Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China)
,
Huang Qing-An
(Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China)
資料名：
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 69 号： 3 ページ： 1341-1348 発行年： 2022年
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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