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文献
J-GLOBAL ID：202202289197158276
整理番号：22A0943145
純粋な金属媒介摩擦を用いた単結晶4H-SiC基板の機械加工における損傷のない表面/サブ表面付近を得るための新しいアプローチ【JST・京大機械翻訳】
A novel approach to obtain near damage-free surface/subsurface in machining of single crystal 4H-SiC substrate using pure metal mediated friction
Wu Min
(National and Local Joint Engineering Research Center for Intelligent Manufacturing Technology of Brittle Material Products, Huaqiao University, Xiamen 361021, China)
,
Wu Min
(Institute of Manufacturing Engineering, Huaqiao University, Xiamen 361021, China)
,
Huang Hui
(National and Local Joint Engineering Research Center for Intelligent Manufacturing Technology of Brittle Material Products, Huaqiao University, Xiamen 361021, China)
,
Huang Hui
(Institute of Manufacturing Engineering, Huaqiao University, Xiamen 361021, China)
,
Luo Qiufa
(National and Local Joint Engineering Research Center for Intelligent Manufacturing Technology of Brittle Material Products, Huaqiao University, Xiamen 361021, China)
,
Luo Qiufa
(Institute of Manufacturing Engineering, Huaqiao University, Xiamen 361021, China)
,
Wu Yueqin
(National and Local Joint Engineering Research Center for Intelligent Manufacturing Technology of Brittle Material Products, Huaqiao University, Xiamen 361021, China)
,
Wu Yueqin
(Institute of Manufacturing Engineering, Huaqiao University, Xiamen 361021, China)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 588 ページ： Null 発行年： 2022年
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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