文献
J-GLOBAL ID:202202290072168668
整理番号:22A0044750
誘導結合N_2/NH_3/SiH_4放電の二次元流体シミュレーション【JST・京大機械翻訳】
Two-dimensional fluid simulation of inductively coupled N2/NH3/SiH4 discharge
著者 (4件):
Cha Ju-Hong
(Department of Electrical Engineering, Pusan National University, Busan, Republic of Korea)
,
Seo Kwon-Sang
(Department of Electrical Engineering, Pusan National University, Busan, Republic of Korea)
,
Kim Sang-Woo
(Department of Electrical Engineering, Pusan National University, Busan, Republic of Korea)
,
Lee Ho-Jun
(Department of Electrical Engineering, Pusan National University, Busan, Republic of Korea)
資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻:
55
号:
3
ページ:
035203 (18pp)
発行年:
2022年
JST資料番号:
B0092B
ISSN:
0022-3727
CODEN:
JPAPBE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)