前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：202202290558367872
整理番号：22A1043679
極端紫外ダマシン拡張の詳細な実現可能性研究:パターン形成,誘電エッチおよびメタライゼーション【JST・京大機械翻訳】
In-depth feasibility study of extreme ultraviolet damascene extension: Patterning, dielectric etch, and metallization
Sun Xinghua
(TEL Technology Center, America, LLC, 255 Fuller Road, Suite 214, Albany, New York 12203)
,
Mignot Yann
(IBM Research Albany, 257 Fuller Road, Albany, New York 12203)
,
Cole Christopher
(TEL Technology Center, America, LLC, 255 Fuller Road, Suite 214, Albany, New York 12203)
,
Liu Eric
(TEL Technology Center, America, LLC, 255 Fuller Road, Suite 214, Albany, New York 12203)
,
Santos Daniel
(TEL Technology Center, America, LLC, 255 Fuller Road, Suite 214, Albany, New York 12203)
,
Raley Angelique
(TEL Technology Center, America, LLC, 255 Fuller Road, Suite 214, Albany, New York 12203)
,
Church Jennifer
(IBM Research Albany, 257 Fuller Road, Albany, New York 12203)
,
Meli Luciana
(IBM Research Albany, 257 Fuller Road, Albany, New York 12203)
,
Sieg Stuart A.
(IBM Research Albany, 257 Fuller Road, Albany, New York 12203)
,
Biolsi Peter
(TEL Technology Center, America, LLC, 255 Fuller Road, Suite 214, Albany, New York 12203)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 40 号： 2 ページ： 023207-023207-9 発行年： 2022年
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。