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文献
J-GLOBAL ID：202402287153117382
整理番号：24A0735395
弾性表面波デバイス基板両面への温度・流量測定のための素子構造の追加作製
Fabrication of additional element structures for temperature and flow measurement on both sides of the SAW device substrate
蜷川渉
(九州工大)
,
永野朝日
(九州工大)
,
村上直
(九州工大)
,
伊藤高廣
(九州工大)
資料名：
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)
(センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 40th ページ： ROMBUNNO.6P5-PS-62 発行年： 2023年10月31日
JST資料番号： X0768B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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