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文献
J-GLOBAL ID：202502217548787681
整理番号：25A0685731
CeO2-HfO2-ZrO2薄膜の結晶構造と強誘電性の評価
Crystal structure and ferroelectric properties of CeO2-HfO2-ZrO2 thin films
下野園航平
(東京工大)
,
前川芳輝
(東京工大)
,
茶谷那知
(東京工大)
,
岡本一輝
(東京工大)
,
山岡和希子
(TDK)
,
川島康
(TDK)
,
井上ゆか梨
(TDK)
,
舟窪浩
(東京工大)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 71st ページ： ROMBUNNO.25p-1BJ-2 発行年： 2024年03月05日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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