C-V法によるSi/a-SiN<sub>x</sub>:H界面準位の解析

文献

J-GLOBAL ID：200902044654677769 整理番号：92A0123183

C-V法によるSi/a-SiN_x:H界面準位の解析

Analysis of Si/a-SiN_x:H Interface State by C-V Method.

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資料名：
巻： 52nd 号： 2 ページ： 710 発行年： 1991年10月
JST資料番号： Y0055A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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