C-V法によるa-SIN<sub>x</sub>:H/c-Si界面準位の温度依存性

文献

J-GLOBAL ID：200902054034995898 整理番号：92A0831638

C-V法によるa-SIN_x:H/c-Si界面準位の温度依存性

Temperature Dependence of a-SIN_x: H/c-Si Interface Studied by C-V Method.

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資料名：
巻： 53rd 号： 2 ページ： 593 発行年： 1992年09月
JST資料番号： Y0055A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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