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J-GLOBAL ID：200902080822714973   整理番号：90A0919826

XPSとIRによるa-SiN_x:Hの構造評価

XPS and IR spectra of a-SiN_x:H.

著者 (4件)： 梅津郁朗 (東京理大 基礎工) ,  玉越健司 (東京理大 理工) ,  生駒英明 (東京理大 理工) ,  前田敬二 (東京理大 基礎工)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 51st  号： 2  ページ： 713  発行年： 1990年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (3件)： XPS ,  Ir ,  構造評価