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J-GLOBAL ID：200902116864234445   整理番号：00A0487466

炭化けい素微細加工とマイクロガスタービンとに関する研究

Silicon Carbide Micromachining And Micromachined Gas Turbines.

著者 (6件)： 田中秀治 (東北大 工) ,  中橋和博 (東北大 工) ,  江刺正喜 (東北大 工) ,  杉本真也 (東北大 工) ,  原基揚 (東北大 工) ,  釜土敏裕 (東北大 工)
資料名： 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集
巻： 2000  ページ： 92-97  発行年： 2000年03月24日 
JST資料番号： L1518A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ロータ径10mm程度の炭化けい素製マイクロガスタービンを製作...

シソーラス用語： *マイクロマシン ,...
準シソーラス用語： 計算流体力学

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 炭化けい素 ,  微細加工 ,  マイクロガスタービン ,  研究