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J-GLOBAL ID：200902120057973681   整理番号：01A0732388

フーリエ変換赤外分光用エアタービン駆動マイクロ偏光変調器の開発

著者 (3件)： 田中秀治 (東北大 工) ,  原基揚 (東北大 工) ,  江刺正喜 (東北大 工)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集
巻： 17th  ページ： 4  発行年： 2000年05月30日 
JST資料番号： L4198A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細加工技術を使い,二重変調方式Fourier変換赤外分光用...

シソーラス用語： *FTIR分光法 ,...
準シソーラス用語： *光変調器

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分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の分光法と分光計  (BD07042H)

タイトルに関連する用語 (5件)： フーリエ変換赤外分光 ,  エアタービン ,  マイクロ ,  偏光変調 ,  開発