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J-GLOBAL ID：200902122931944819   整理番号：02A0058577

磁気中性ループ放電プラズマの形成に必要な条件

Investigation of the Conditions Required for the Formation of a Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma.

著者 (5件)： SAKODA T (Sojo Univ., Kumamoto, JPN) ,  OKRAKU-YIRENKYI Y (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN) ,  SUNG Y-M (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN) ,  OTSUBO M (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN) ,  HONDA C (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 40  号： 11  ページ： 6607-6612  発行年： 2001年11月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 中性ループ放電(NLD)プラズマの形成に必要な条件を明らかに...

シソーラス用語： RF放電 ,...

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分類 (1件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

引用文献 (8件)：

• 1) T. Uchida: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) L43.
• 2) H. Tsuboi, M. Itoh, M. Tanabe, T. Hayashi and T. Uchida: Jpn. J. Appl. Phys. 34 (1995) 2476.
• 3) Z. Yoshida and T. Uchida: Jpn. J. Appl. Phys. 34 (1995) 4213.
• 4) T. Sakoda, H. Iwamiya, K. Uchino, K. Muraoka, M. Itoh and T. Uchida: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) L67.
• 5) T. Sakoda, T. Miyao, K. Uchino and K. Muraoka: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 6981.

タイトルに関連する用語 (4件)： 磁気 ,  中性 ,  ループ ,  放電プラズマ