光熱偏向分光法によるa-Si:H/a-SiN<sub>x</sub>:H界面の光吸収スペクトルの測定

文献

J-GLOBAL ID：200902134577774950 整理番号：94A0476604

光熱偏向分光法によるa-Si:H/a-SiN_x:H界面の光吸収スペクトルの測定

Measurement of optical absorption spectra at a-Si:H/a-SiNx:H interface by Photo-thermal deflection spectroscopy.

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資料名：
巻： 41st 号： Pt 2 ページ： 812 発行年： 1994年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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