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J-GLOBAL ID：200902140226925900   整理番号：99A0975248

RFスパッタリング装置を用いて作製したa-Si:Hの発光

著者 (4件)： 高島良彰 (甲南大) ,  室田考俊 (甲南大) ,  梅津郁朗 (甲南大) ,  杉村陽 (甲南大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 60th  号： 2  ページ： 788  発行年： 1999年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (3件)： RFスパッタリング ,  作製 ,  Si