RFスパッタ法によって作製されたa-Si膜のTaucGapと構造乱れ

文献

J-GLOBAL ID：200902151989729420 整理番号：98A0506725

A correlation between structural order and TaucGap of a-Si film prepared by sputtering method.

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資料名：
巻： 45th 号： 2 ページ： 895 発行年： 1998年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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