非晶質シリコンと絶縁膜の界面(表面)欠陥密度

文献

J-GLOBAL ID：200902164288301020 整理番号：95A0555469

Interface(surface) defects of amorphous Silicon and insulating layer.

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資料名：
巻： 42nd 号： Pt 2 ページ： 858 発行年： 1995年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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