文献
J-GLOBAL ID：200902172655410411
整理番号：00A0035279
RFスパッタによって作製された非晶質シリコン系薄膜からの強い発光
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著者 (2件)：
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資料名：
巻：
60th
号：
0
ページ：
32
発行年：
1999年09月01日
JST資料番号：
Y0055A
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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