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J-GLOBAL ID：200902179840605754   整理番号：02A0962130

中性ループ放電プラズマの下流領域における電子特性

Studies on electron behaviors at downstream region of a neutral loop discharge plasma.
著者 (2件)：
SAKODA T

SAKODA T について

(Sojo Univ., Kumamoto, JPN)

Sojo Univ., Kumamoto, JPN について

, 
SUNG Y-M

SUNG Y-M について

(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)

Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について


巻： 20  号： 6  ページ： 1964-1968  発行年： 2002年11月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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中性ループ放電(NLD)プラズマのプラズマ下流領域における電...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*プラズマ源

プラズマ源 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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中性ループ放電

中性ループ放電 について


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分類 (2件)：
分類
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プラズマ装置 
(BJ02082I)

プラズマ装置 について

,  プラズマ診断 
(BJ02090L)

プラズマ診断 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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中性

中性 について

, 
ループ

ループ について

, 
放電プラズマ

放電プラズマ について

, 
下流

下流 について

, 
電子

電子 について


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