高性能システム・オン・チップを実現する最先端CMOSプロセス「UX5」

文献

J-GLOBAL ID：200902181763135310 整理番号：01A0427803

UX5: 0.13μm Generation CMOS Technology for Advanced System-On-a-Chip Applications.

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資料名：
巻： 54 号： 3 ページ： 142-146 発行年： 2001年03月23日
JST資料番号： G0475B ISSN： 0285-4139 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

システム・オン・チップを実現可能とするテクノロジノード0.1...

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固体デバイス製造技術一般

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