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J-GLOBAL ID：200902184189586766   整理番号：98A0495890

AFMを用いたバナジウム金属薄膜の微細加工

Fablication of nanostructure on thin film of Vanadium metal by using AFM.

著者 (5件)： 山岡真治 (甲南大 理) ,  坂田成司 (ATR環境適応通信研) ,  VACCARO P O (ATR環境適応通信研) ,  梅津郁朗 (甲南大 理) ,  杉村陽 (甲南大 理)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 45th  号： 1  ページ： 487  発行年： 1998年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： AFM ,  バナジウム ,  金属薄膜 ,  微細加工