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J-GLOBAL ID：200902189175025372   整理番号：95A0570007

Feのゲッタリング能力のDZ幅,エピ膜厚依存性

Dependence of gettering efficiency of iron on the thickness of denuded zone and epitaxial layer.

著者 (4件)： 栗田一成 (三菱マテリアル 中研) ,  村上義男 (三菱マテリアル 中研) ,  木村雅貴 (三菱マテリアル 中研) ,  新行内隆之 (三菱マテリアル 中研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 42nd  号： Pt 1  ページ： 253  発行年： 1995年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： Fe ,  ゲッタリング ,  能力 ,  膜厚依存性