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J-GLOBAL ID:200902191490238710   整理番号:95A1009353

a-Si:H薄膜堆積条件とTFT特性

Deposition Condition of a-Si:H thin films and TFT characteristics.
著者 (4件):
資料名:
巻: 56th  号:ページ: 770  発行年: 1995年08月 
JST資料番号: Y0055A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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