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J-GLOBAL ID：200902194874349659   整理番号：98A0349144

高速・低電力化技術に注目集まるIEDM ついにCuダマシン実用化技術が登場

IEDM Which a High-speed And Low Electric Powerizing Technology Attracted Attention In.

著者 (3件)： 若林整 (NEC) ,  水野文二 (松下電器産業) ,  菅井和己 (NEC)
資料名： 月刊Semiconductor World  (月刊セミコンダクターワールド)
巻： 17  号： 3  ページ： 43-48  発行年： 1998年03月 
JST資料番号： Y0509A  ISSN： 0286-5025  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： IEDM(International Electron De...

シソーラス用語： *生産プロセス ,...
準シソーラス用語： 回路素子 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 低電力化 ,  注目 ,  Cu ,  ダマシン ,  実用化