抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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移動体通信の急激な普及により,SAWとともに,FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)フィルタの研究開発,実用化が進んでいる。本研究では,FBARの高周波への適用限界および高周波化における課題を抽出することを目的に,FBARの高周波化の検討を行った。そして,K-bandにおける。Air-gap型FBARの有効性を確認するために,FEMによる構造解析および試作を行い,Air-gap型FBARがK-bandでも適用可能な構造であることを確認した。また,K-band FBARの評価を行い,FBARの高周波化における課題としては寄生インピーダンスおよび電極抵抗の低減であることが分かつた。更にK-bandフィルタの試作・評価を行い,中心周波数19.8GHz,最小挿入損失4.ldB,3dB比帯域幅2.0%の特性が得られた。