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J-GLOBAL ID：200902204213591890   整理番号：06A0746449

極低温超音波計測による点欠陥性御CZシリコン結晶中の原子空孔濃度分布観測

著者 (7件)： 金田寛 (富士通研) ,  後藤輝孝 (新潟大 大学院) ,  佐藤幸治 (新潟大 大学院) ,  齋藤康治 (新潟大 大学院) ,  根本祐一 (新潟大 大学院) ,  柿本浩一 (九大 応用力学研) ,  中村慎太郎 (東北大 極低温セ)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 67th  号： 1  ページ： 387  発行年： 2006年08月29日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： 極低温 ,  超音波計測 ,  点欠陥 ,  シリコン結晶 ,  原子空孔 ,  濃度分布 ,  観測