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J-GLOBAL ID：200902208363253484   整理番号：04A0019121

シームレスインテグレーション技術によるCMOS MEMS指紋センサ

著者 (9件)： 佐藤昇男 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  町田克之 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  森村浩季 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  重松智志 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  矢野正樹 (NTTアドバンステクノロジ) ,  工藤和久 (NTTアドバンステクノロジ) ,  亀井敏和 (NTTアドバンステクノロジ) ,  石井仁 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  久良木億 (NTT マイクロシステムインテグレーション研)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集
巻： 20th  ページ： 75  発行年： 2003年07月23日 
JST資料番号： L4198A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： シームレス ,  インテグレーション ,  CMOS ,  MEMS ,  指紋センサ