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J-GLOBAL ID：200902209914441267   整理番号：03A0845679

シームレスインテグレーション技術のための基盤技術

著者 (3件)： 町田克之 (NTT マイクロシステムインテグレーション研究所) ,  佐藤昇男 (NTT マイクロシステムインテグレーション研究所) ,  石井仁 (NTT マイクロシステムインテグレーション研究所)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2003  号： 春季(CD-ROM)  ページ： 246  発行年： 2003年03月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *半導体プロセス ,...
準シソーラス用語： シームレスインテグレーション ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： シームレス ,  インテグレーション ,  基盤技術