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J-GLOBAL ID：200902216697748754   整理番号：05A0850448

集積化RF-MEMSの検討:異種素子の混載と封止

著者 (10件)： 桑原啓 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  浦野正美 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  小舘淳一 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  佐藤昇男 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  阪田知巳 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  石井仁 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  亀井敏和 (NTTアドバンステクノロジ) ,  工藤和久 (NTTアドバンステクノロジ) ,  矢野正樹 (NTTアドバンステクノロジ) ,  町田克之 (NTT マイクロシステムインテグレーション研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 66th  号： 2  ページ： 751  発行年： 2005年09月07日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 電気機械 ,...

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分類 (1件)： 混成集積回路  (NC03163K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 集積化 ,  RF ,  MEMS ,  封止