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J-GLOBAL ID：200902225016587978   整理番号：06A0747622

CMOS-MEMSの位置制御のための容量センシングの検討

著者 (10件)： 島村俊重 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  森村浩季 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  桑原啓 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  佐藤昇男 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  寺田純 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  宇賀神守 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  重松智志 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  町田克之 (NTTアドバンステクノロジ) ,  中西衛 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  石井仁 (NTT マイクロシステムインテグレーション研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 67th  号： 2  ページ： 792  発行年： 2006年08月29日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 位置制御 ,...
準シソーラス用語： CMOSプロセス ,...

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分類 (1件)： 半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (4件)： CMOS ,  MEMS ,  位置制御 ,  センシング