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J-GLOBAL ID：200902227222824237   整理番号：07A1013946

集積化PowerMEMSの検討(2):振動発電に向けたMEMS振動素子の加振特性評価

著者 (10件)： 佐藤昇男 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  小野一善 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  森村浩季 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  小舘淳一 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  桑原啓 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  阪田知巳 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  亀井敏和 (NTTアドバンステクノロジ) ,  工藤和久 (NTTアドバンステクノロジ) ,  町田克之 (NTTアドバンステクノロジ) ,  石井仁 (NTT マイクロシステムインテグレーション研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 68th  号： 2  ページ： 886  発行年： 2007年09月04日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *超小形回路技術 ,...
準シソーラス用語： 加振

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 集積化 ,  振動発電 ,  MEMS ,  加振 ,  特性評価