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J-GLOBAL ID：200902228133237120   整理番号：08A0440853

マルチファンクショナルCMOSセンサ搭載マイクロチャンバデバイスの作製

著者 (5件)： 皆川亨介 (奈良先端科学技術大学院大) ,  佐藤翔 (奈良先端科学技術大学院大) ,  徳田崇 (奈良先端科学技術大学院大) ,  布下正宏 (奈良先端科学技術大学院大) ,  太田淳 (奈良先端科学技術大学院大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 55th  号： 3  ページ： 1358  発行年： 2008年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *センサ ,  *化学種 ,  チャネル ,  *偏光測定 ,  実験装置 ,  *ケイ素 ,  *酸化膜 ,  旋光性 ,  マイクロチャネル ,  *CMOSセンサ ,  マイクロセンサ ,  *化成皮膜
準シソーラス用語： *不斉度 ,  マイクロ流路 ,  *マイクロチャンバ

分類 (2件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (3件)： マルチ ,  CMOSセンサ ,  作製