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J-GLOBAL ID：200902228629460139   整理番号：08A0425946

RF CMOS-MEMSの検討(3):低電圧駆動RF MEMSスイッチの高集積化

著者 (7件)： 桑原啓 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  佐藤昇男 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  森村浩季 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  小舘淳一 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  亀井敏和 (NTTアドバンステクノロジ) ,  町田克之 (NTTアドバンステクノロジ) ,  石井仁 (NTT マイクロシステムインテグレーション研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 55th  号： 2  ページ： 905  発行年： 2008年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *マイクロスイッチ ,  MEMS ,  *CMOS構造 ,  集積 ,  接続 ,  容量電圧特性 ,  *MEMSスイッチ ,  *MOS構造
準シソーラス用語： 無線

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： RF ,  CMOS ,  MEMS ,  低電圧駆動 ,  MEMSスイッチ ,  高集積化