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J-GLOBAL ID：200902230242252907   整理番号：05A0850449

集積化Power MEMSの検討:熱電素子と振動素子の集積化プロセス

著者 (13件)： 佐藤昇男 (NTTMI研) ,  石井仁 (NTTMI研) ,  浦野正美 (NTTMI研) ,  阪田知巳 (NTTMI研) ,  寺田純 (NTTMI研) ,  森村浩季 (NTTMI研) ,  重松智志 (NTTMI研) ,  桑原啓 (NTTMI研) ,  工藤和久 (NTT-AT) ,  亀井敏和 (NTT-AT) ,  矢野正樹 (NTT-AT) ,  八木祥次 (NTTMI研) ,  町田克之 (NTTMI研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 66th  号： 2  ページ： 752  発行年： 2005年09月07日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 集積 ,...

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分類 (1件)： 混成集積回路  (NC03163K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 集積化 ,  MEMS ,  熱電素子 ,  プロセス