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J-GLOBAL ID：200902232474586464   整理番号：07A0234955

AlNを含むZnOターゲットのスパッタリングにより作製したZnO膜の電気及び光学特性

Electrical and optical properties of ZnO films prepared by sputtering of ZnO targets containing AlN
著者 (5件)：
KOBAYASHI K.

KOBAYASHI K. について

(Dep. of Materials Sci., Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1, Johoku, Hamamatsu 432-8561, JPN)

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KONDO Y.

KONDO Y. について

(Dep. of Materials Sci., Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1, Johoku, Hamamatsu 432-8561, JPN)

Dep. of Materials Sci., Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1, Johoku, Hamamatsu 432-8561, JPN について

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TOMITA Y.

TOMITA Y. について

(Dep. of Materials Sci., Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1, Johoku, Hamamatsu 432-8561, JPN)

Dep. of Materials Sci., Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1, Johoku, Hamamatsu 432-8561, JPN について

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MAEDA Y.

MAEDA Y. について

(Dep. of Materials Sci., Fac. of Engineering, Shizuoka Univ., 3-5-1, Johoku, Hamamatsu 432-8561, JPN)

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MATSUSHIMA S.

MATSUSHIMA S. について

(Dep. of Materials Sci. and Chemical Engineering, Kitakyushu National Coll. of Technol., 5-20-1, Shii ...)

Dep. of Materials Sci. and Chemical Engineering, Kitakyushu National Coll. of Technol., 5-20-1, Shii ... について


資料名：
Applied Surface Science  (Applied Surface Science)

Applied Surface Science について


巻： 253  号： 11  ページ： 5035-5039  発行年： 2007年03月30日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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2%AlNを含むZnOターゲットから作製したZnO膜はラジオ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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窒化アルミニウム

窒化アルミニウム について

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分類 (3件)：
分類
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酸化物薄膜 
(BK14050P)

酸化物薄膜 について

,  半導体結晶の電気伝導 
(BM03043X)

半導体結晶の電気伝導 について

,  光物性一般 
(BM08010A)

光物性一般 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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AlN

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ZnO

ZnO について

, 
ターゲット

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スパッタリング

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作製

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, 
光学特性

光学特性 について


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