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J-GLOBAL ID：200902234806284915   整理番号：09A0817777

標準CMOSプロセスを用いたμTAS向け偏光検出イメージセンサ

Polarization-Analyzing Image Sensor for μTAS Based on Standard CMOS Technology

著者 (4件)： 徳田崇 (奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科) ,  山田博文 (奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科) ,  笹川清隆 (奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科) ,  太田淳 (奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 129  号： 8  ページ： 234-241 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現在,マイクロ流路の実用化に向けた各種の技術開発が進められている。著者らは,各種の計測機能を搭載した微細なCMOSマルチファンクショナルチップをμTASに集積化し,μTAS内のマイクロ流路を流れる溶液に対して計測を行う技術の実現に取り組んでいる。本研究では,標準CMOSプロセスによって実現可能な,外部偏光子なしで入射光の偏光を検出するフォトセンサ技術を提案・実証する。今回,035μm標準CMOSプロセスでの偏光計測画素を設計した。そして,入射偏光の回転と2画素計測を組み合わせた偏光角の変化量の測定(旋光測定など)では精度0.1度を実現することができた。さらに,イメージセンサアーキテクチャとの組み合わせにより,180個の1度ステップの異なる偏光子を搭載した画素の計測結果から,入射光の偏光角の絶対値を0.04度という高い精度で計測することに成功した。

シソーラス用語： *イメージセンサ ,  *分析機器 ,  *偏光測定 ,  チャネル ,  マイクロチャネル ,  CMOSイメージセンサ ,  *マイクロ総合分析システム
準シソーラス用語： *MU-TAS ,  マイクロ流路

分類 (2件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

引用文献 (10件)：

• TOKUDA, T. A CMOS image sensor with optical and potential dual imaging function for on-chip bioscientific applications. Sensors & Actuators A. 2006, 125, 2, 273-280
• TOKUDA, T. Optical and Electrochemical dual-image CMOS sensor for on-chip biomolecular sensing applications. Sensors & Actuators A. 2007, 135, 315-322
• ADAMS, M. L. Microfluidic integration of detector arrays for absorption and fluorescence micro-spectrometers. Sensors and Actuators A. 2003, 104, 25-31
• HIZAWA, T. Fabrication of a two-dimensional pH image sensor using a charge transfer technique. Sens. Act. B. 2006, 117, 509-515
• HAMMOND, P. A. Design of a Single-Chip pH Sensor Using a Conventional 0.6-μm CMOS Process. IEEE Sensors. 2004, 4, 706-712

タイトルに関連する用語 (5件)： 標準 ,  CMOSプロセス ,  μTAS ,  偏光 ,  イメージセンサ