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J-GLOBAL ID：200902242442501055   整理番号：03A0654936

アーチ状ECRプラズマによる難加工材料の高速エッチングプロセス

著者 (5件)： 鍋沢浩文 (富山県工技セ) ,  浅地豊久 (立山マシン) ,  金沢元一 (立山マシン) ,  安部隆 (東北大) ,  石井成行 (富山県大 工)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 64th  号： 1  ページ： 113  発行年： 2003年08月30日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： ニオブ酸リチウム ,...
準シソーラス用語： PLZT

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分類 (2件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： アーチ ,  ECRプラズマ ,  難加工材料 ,  エッチングプロセス