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J-GLOBAL ID：200902243560400413   整理番号：09A1223581

アモルファスシリコンを用いた積層型方向性結合器の試作

Vertical Directional Coupler Made of Amorphous Silicon Waveguides

著者 (7件)： 榊原陽一 (産業技術総合研 光技術研究部門) ,  亀井利浩 (産業技術総合研 エレクトロニクス研究部門) ,  糸賀恵美子 (産業技術総合研 光技術研究部門) ,  岡野誠 (産業技術総合研 光技術研究部門) ,  金高健二 (産業技術総合研 ネットワークフォトニクス研究セ) ,  庄司雄哉 (産業技術総合研 ネットワークフォトニクス研究セ) ,  森雅彦 (産業技術総合研 光技術研究部門)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 109  号： 245(LQE2009 66-106)  ページ： 125-129  発行年： 2009年10月15日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： アモルファスシリコンは,薄膜堆積を繰り返すことで,立体的な光配線が原理的に作製可能である。本研究では,水素化アモルファスシリコン薄膜の光通信波長帯での光学特性を光吸収と屈折率の面から検討し,i線ステッパを用いた細線導波路微細加工技術を検討し,アモルファスシリコンの細線導波路を上下方向に積層した立体型の方向性結合器の試作を試みた。(著者抄録)

シソーラス用語： アモルファスシリコン ,  *方向性結合器 ,  積層構造 ,  光通信 ,  光吸収 ,  屈折率 ,  微細加工 ,  導波路 ,  細線

分類 (1件)： その他の光伝送素子  (BD06040S)

タイトルに関連する用語 (3件)： アモルファスシリコン ,  方向性結合器 ,  試作