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J-GLOBAL ID：200902248429457568   整理番号：06A0763252

RFMEMS及びMEMSパッケージング(原標題は英語)

著者 (2件)： 原基揚 ,  江刺正喜
資料名： EMシンポジウム
巻： 33rd  ページ： 41-46  発行年： 2004年 
JST資料番号： L4058A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： RFMEMSとしてエアギャップ型AIN圧電薄膜共振子の開発を...

シソーラス用語： 圧電振動子 ,...
準シソーラス用語： 共振子 ,...

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分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  パッケージング ,  標題 ,  英語