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J-GLOBAL ID：200902250688649208   整理番号：09A0424965

集積化Power MEMSの検討(3):Energy harvestingに向けたMEMS振動素子のSub-kHz共振の実現

著者 (7件)： 小野一善 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  佐藤昇男 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  石井仁 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  工藤和久 (NTTアドバンステクノロジ) ,  村井正忠 (NTTアドバンステクノロジ) ,  町田克之 (NTTアドバンステクノロジ) ,  佐藤康博 (NTT マイクロシステムインテグレーション研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 56th  号： 2  ページ： 912  発行年： 2009年03月30日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *MEMS ,  *振動子 ,  振動 ,  *エネルギー変換 ,  *電力 ,  共振 ,  ケイ素 ,  基板 ,  共振周波数 ,  金 ,  めっき ,  エネルギーハーベスティング

分類 (1件)： エネルギー変換装置  (LC01020U)

タイトルに関連する用語 (3件)： 集積化 ,  MEMS ,  共振