文献

J-GLOBAL ID：200902252469688284   整理番号：05A0494585

誘電体バリヤ放電を用いた単結晶シリコン太陽電池用の付加的なプラズマ表面組織化

Additional Plasma Surface Texturing for Single-Crystalline Silicon Solar Cells Using Dielectric Barrier Discharge

著者 (6件)： SAKODA Tatsuya (Sojo Univ., Kumamoto, JPN) ,  MATSUKUMA Kunihiro (Sojo Univ., Kumamoto, JPN) ,  SUNG Youl-Moon (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN) ,  OTSUBO Kouji (Chinryo Corp., Kitakyushu, JPN) ,  TAHARA Minoru (Chinryo Corp., Kitakyushu, JPN) ,  NAKASHIMA Yoshihiro (Chinryo Corp., Kitakyushu, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44  号： 4A  ページ： 1730-1731  発行年： 2005年04月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン単結晶の太陽電池の表面による光の反射を低減させるため...

シソーラス用語： 放電 ,...
準シソーラス用語： プラズマプロセシング

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分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (6件)：

• 1) G. Kumaravelu, M. M. Alkaisi and A. Bittar: Proc. 29th IEEE Photovoltaic Specialist Conf., 2002, p. 258.
• 2) D. S. Ruby, S. H. Zaidi, S. Narayanan, B. Bathey, S. Yamanaka and R. Balanga: Proc. 29th IEEE Photovoltaic Specialist Conf., 2002, p. 146.
• 3) B. Eliasson, M. Hirth and U. Kogelschatz: J. Phys. D 20 (1987) 1421.
• 4) S. Yagi and M. Tabata: J. Phys. D 12 (1979) 1509.
• 5) T. Sakoda, K. Matsukuma, I. Araki, Y. M. Sung and K. Furukawa: Jpn. J. Appl. Phys. 43 (2004) 3275.

タイトルに関連する用語 (4件)： 誘電体バリヤ放電 ,  単結晶シリコン太陽電池 ,  プラズマ ,  表面組織