文献

J-GLOBAL ID：200902255969116278   整理番号：03A0856241

シームレスインテグレーション技術-MEMSとLSIの融合に向けて-

著者 (4件)： 町田克之 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  佐藤昇男 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  浦野正美 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  石井仁 (NTT マイクロシステムインテグレーション研)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2003  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： 384  発行年： 2003年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *高密度実装 ,...

   このテーマを更に深掘りする（JDreamⅢへ）  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0856241&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0914A") }}

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： シームレス ,  インテグレーション ,  LSI ,  融合