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J-GLOBAL ID：200902259548819852   整理番号：07A0530524

高音響インピーダンス電極膜を用いたAir-Gap型FBARフィルタの開発

著者 (7件)： 横山剛 (富士通研) ,  谷口眞司 (富士通研) ,  原基揚 (富士通研) ,  岩城匡郁 (富士通研) ,  西原時弘 (富士通研) ,  上田政則 (富士通研) ,  佐藤良夫 (富士通研)
資料名： EMシンポジウム
巻： 36th  ページ： 59-62  発行年： 2007年 
JST資料番号： L4058A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フラット基板上に作製可能なAir-Gap型構造のFBAR(F...

シソーラス用語： *音響インピーダンス ,...
準シソーラス用語： *FBAR ,...

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分類 (1件)： フィルタ一般  (NC04021I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 音響インピーダンス ,  GAP ,  FBAR ,  開発