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J-GLOBAL ID：200902265521186211   整理番号：08A0622859

Air-Gap型高周波FBARフィルタ

著者 (6件)： 横山剛 (富士通) ,  原基揚 (富士通) ,  谷口眞司 (富士通研) ,  西原時弘 (富士通研) ,  上田政則 (富士通) ,  佐藤良夫 (富士通)
資料名： EMシンポジウム
巻： 37th  ページ： 65-68  発行年： 2008年 
JST資料番号： L4058A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 移動体通信の急激な普及とともにSAWフィルタの市場が拡大するなか,近年,FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)フィルタの研究開発,実用化が急激に進んでいる。本研究では,FBARフィルタのXバンド(8~12GHzT帯)およびKバンド(18~26GHz帯)への適用を検討したので報告した。フラットなSi基板上にドーム形状のAir-Gap型FBARを作製し,Xバンドにおいて,k_eff²=6.40%,共振Q_rl=246,反共振Q_al=462の共振特性を得た。さらに,高マイクロ波帯のFBARフィルタを作製し,Xバンドにおいて,中心周波数9.07GHz,最小挿入損失1.7dB,比帯域幅3.1%のフィルタ特性,およびKバンドにおいて中心周波数19.2GHz,最小挿入損失7.5dB,比帯域幅1.7%のフィルタ特性が得られた。

シソーラス用語： *音響共振器 ,  *移動通信 ,  Q値 ,  *間隙 ,  圧電体 ,  窒化アルミニウム ,  電気機械効果 ,  結合係数 ,  電極材料 ,  圧電フィルタ ,  有限要素法 ,  膜厚 ,  遮断周波数 ,  周波数依存性 ,  挿入損 ,  帯域幅 ,  *帯域フィルタ ,  エアギャップ
準シソーラス用語： FBAR

分類 (1件)： フィルタ一般  (NC04021I)

タイトルに関連する用語 (3件)： GAP ,  高周波 ,  FBAR