電着有機膜によるMEMS構造のスティッキング防止効果

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J-GLOBAL ID：200902269466029298 整理番号：05A0427320

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資料名：
巻： 52nd 号： 2 ページ： 931 発行年： 2005年03月29日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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固体デバイス製造技術一般

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