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J-GLOBAL ID：200902275833987357   整理番号：08A0945018

Siナノ結晶集合体へのPイオンドープ

著者 (10件)： 平田圭 (甲南大 理工) ,  宜保学 (甲南大 理工) ,  吉田謙一 (イオン工学研) ,  稲田貢 (関西大 システム理工) ,  梅津郁朗 (甲南大 理工) ,  梅津郁朗 (甲南大 量子ナノテク研) ,  長町信治 (イオン工学研) ,  齊藤正 (関西大 システム理工) ,  杉村陽 (甲南大 理工) ,  杉村陽 (甲南大 量子ナノテク研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 69th  号： 3  ページ： 1243  発行年： 2008年09月02日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *ナノ結晶 ,  *凝集体 ,  *リン ,  ドーピング ,  キャリア密度 ,  *イオン注入 ,  制御 ,  レーザアブレーション ,  基板 ,  活性化エネルギー ,  導電性
準シソーラス用語： *集合体

分類 (2件)： 半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (5件)： Si ,  ナノ結晶 ,  集合体 ,  Pイオン ,  ドープ