ナノインプリント法による3次元多層構造の作製

文献

J-GLOBAL ID：200902276261691938 整理番号：04A0331253

Fabrication of Three Dimension-Layer-Structures by Imprint Lithography

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資料名：
巻： 79th ページ： 4.5-4.6 発行年： 2004年03月17日
JST資料番号： L0014A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

微細プレス加工技術であるImprintLithography...

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固体デバイス製造技術一般

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