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J-GLOBAL ID：200902277614956252   整理番号：09A0236042

非平衡マグネトロンスパッタリングによって作製したダイヤモンド状炭素膜の機械的性質および原子構造

Mechanical Properties and Atomic Structure of Diamond-Like-Carbon Films Fabricated by Unbalanced Magnetron Sputtering

著者 (3件)： FUJIMOTO Shinji (Panasonic Electric Works Co., Ltd.) ,  FUJIMOTO Shinji (Nagoya Univ.) ,  OHTAKE Naoto (Nagoya Univ.)
資料名： Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering (Web)  (Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering (Web))
巻： 3  号： 2  ページ： 336-346 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： U0026A  ISSN： 1880-9871  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： UBM法によって作製されたDLC膜の機械的性質と炭素原子の結合構造の関係がRamanスペクトル解析によって明らかにされている。水素含有量の異なる4種類のDLC膜をUBM法によって作製した。DLC中の水素含有量の増加によって硬さの劣化が生じる。硬さの劣化は,Ramanスペクトルで一層短い波長に向けたGピーク位置の移動につながるように見える。DLC膜中の水素含有量の増加は,摩擦係数の劣化を招くが,Gピーク位置と摩擦係数の相関はGピーク位置と硬さの相関ほど大きくなかった。従って,摩擦係数は結合構造との関係は硬さより強くない。DLC膜が低摩擦係数になるメカニズムを明らかにするために,sp²とsp³の結合成分の変化を滑り摩擦を適用する前後に測定されたAES-EELFSスペクトルを用いて分析した。sp²結合成分量の減少あるいは,sp²ボンドの不規則化を確認した。当該膜中のsp²結合成分含有量は主に,黒鉛成分が相手材に移動することよって減少するので,DLC膜と相手材の黒鉛含有量は均衡になる。このことは,低摩擦係数になる要因の1つであると考えられる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *機械的性質 ,  炭素 ,  *原子構造 ,  マグネトロンスパッタリング ,  Ramanスペクトル ,  水素 ,  含有量 ,  硬度 ,  劣化 ,  摩擦係数 ,  グラファイト ,  *性質

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

引用文献 (5件)：

• (1) E. Iwamura, Characterization of Amorphous-Carbon Hard Coating Films and Tribology, Materia, vol. 41, No. 9, 2002, pp. 635-643
• (2) P. H. Gaskell, A. Saeed, P. Chieux and D. R. McKenzie, Neutron-Scattering Studies of the Structure of Highly Tetrahedral Amorphous Diamond Like Carbon, Phys. Rev. Lett., vol. 67, 1991, pp. 1286-1289
• (3) H. Suzuki and M. Ikenaga, Case-Based Technology of DLC Film Preparing (in Japanese), Nikkan Kogyo Shimbun Ltd., 2003, pp. 40-41
• (4) T. Watanabe, Progress in X-ray Analysis (in Japanese), Agne Gijutsu Center, 2003, pp. 173-186
• (5) O. Takai, NEW DIAMOND (in Japanese), Ohmsha, Ltd., vol. 16, No. 4, 2000, pp. 15-20

タイトルに関連する用語 (6件)： 非平衡 ,  マグネトロンスパッタリング ,  作製 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  機械的性質 ,  原子構造