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J-GLOBAL ID：200902279915487064   整理番号：03A0121653

磁気中性線放電エッチャにおける荷電粒子の空間分布 実験結果と数値シミュレーヨン

Spatial distribution of charged particles in a magnetic neutral loop discharge etcher: Experimental results and numerical simulations.

著者 (2件)： SUNG Y-M (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN) ,  SAKODA T (Sojo Univ., Kumamoto, JPN)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 166  号： 2/3  ページ： 135-140  発行年： 2003年03月24日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 磁気中性線放電(NLD)プラズマは高速かつ均一な大面積処理に...

シソーラス用語： *エッチング ,...
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング ,...

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分類 (1件)： プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (7件)： 磁気 ,  中性線 ,  放電 ,  荷電粒子 ,  空間分布 ,  実験結果 ,  数値