文献

J-GLOBAL ID：200902283173622094   整理番号：07A1006453

超音波計測によるCZシリコン中の原子空孔濃度分布の研究

著者 (7件)： 昆金正敏 (新潟大 大学院) ,  後藤輝孝 (新潟大 大学院) ,  金田寛 (新潟大 物質量子科学研究セ) ,  根本祐一 (新潟大 大学院) ,  渡邊肇 (新潟大 大学院) ,  柳澤達也 (新潟大 物質量子科学研究セ) ,  中村慎太郎 (東北大 金属材料研)
資料名： 日本物理学会講演概要集  (日本物理学会年次大会講演概要集)
巻： 62  号： 2 第4分冊  ページ： 994  発行年： 2007年08月21日 
JST資料番号： S0671B  ISSN： 1342-8349  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *超音波応用計測 ,...
準シソーラス用語： *シリコン ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A1006453&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=S0671B") }}

分類 (1件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： 超音波計測 ,  シリコン ,  原子空孔 ,  濃度分布 ,  研究